La sala limpia se refiere a la eliminación de partículas, aire dañino, bacterias y otros contaminantes en el aire dentro de un espacio determinado, y al control de la temperatura interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad del aire y la distribución del aire, el ruido, la vibración, la iluminación y la electricidad estática en un cierto rango de necesidades, y dada una sala especialmente diseñada. Es decir, sin importar cómo cambien las condiciones del aire externo, la sala puede mantener los requisitos originales establecidos de limpieza, temperatura, humedad y presión. La función principal de la sala limpia es controlar la limpieza, la temperatura y la humedad de la atmósfera con la que entran en contacto los productos (como chips de silicio, etc.), para que los productos puedan producirse y fabricarse en un buen espacio ambiental. Este espacio se llama sala limpia.

Uno. Indicadores de sala limpia.

1. El suministro de aire en la sala limpia es suficiente para diluir o eliminar la contaminación generada en la sala.

2. El aire de la sala limpia fluye desde el área limpia hacia el área con mala limpieza. El flujo de aire contaminado alcanza el nivel más bajo y fluye en la dirección correcta en la puerta y en el interior del edificio.

3. El suministro de aire en la sala limpia no aumentará significativamente la contaminación interior.

4. El estado de movimiento del aire interior puede garantizar que no haya una zona de reunión de alta concentración en la habitación secreta.

Dos. Prueba en sala limpia.

1. Volumen de aire de entrada y salida: Si se trata de una sala limpia con turbulencia, se debe medir el volumen de aire de entrada y salida. Si se trata de una sala limpia con flujo unidireccional, se debe medir la velocidad del viento.

2. Control del flujo de aire entre cada zona: Para comprobar que la dirección del movimiento del flujo de aire entre cada zona es correcta, es decir, fluye desde el área limpia al área con poca limpieza, es necesario verificar:

(1) La diferencia de presión en cada sección es correcta;

( 2) La dirección del movimiento del aire en las puertas o aberturas en la pared, piso, etc. es correcta, es decir, fluye desde el área limpia hacia el área con poca limpieza.

3. Detección de fugas en el filtro: El filtro de alta eficiencia y su marco deben inspeccionarse para garantizar que los contaminantes suspendidos no pasen a través de: (1) Filtro dañado; (2) El espacio entre el filtro y su marco exterior;

(3) Otras partes del dispositivo de filtrado invaden la habitación.

4. Detección de fugas de aislamiento: Esta prueba sirve para demostrar que los contaminantes suspendidos no penetran en los materiales de construcción de la sala limpia.

5. Control del flujo de aire interior: El tipo de prueba de control del flujo de aire depende del modo de flujo de aire de la sala limpia: flujo turbulento o flujo unidireccional. Si el flujo de aire en la sala limpia es turbulento, se debe verificar que no haya áreas con flujo de aire insuficiente. Si se trata de una sala limpia con flujo unidireccional, se debe verificar que la velocidad y la dirección del viento en toda la sala cumplan con los requisitos de diseño.

6. Concentración de partículas en suspensión y concentración microbiana: Si las pruebas anteriores cumplen con los requisitos, finalmente se mide la concentración de partículas y la concentración microbiana (cuando sea necesario) para verificar que cumplen con las condiciones técnicas del diseño de la sala limpia.

7. Otras pruebas: Además de las pruebas de control de la contaminación mencionadas anteriormente, en ocasiones se deben realizar una o más de las siguientes pruebas: Temperatura, humedad relativa, capacidad de calefacción y refrigeración interior, valor de ruido, intensidad de la luz, valor de vibración.

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