Para mantener la temperatura, la humedad, la velocidad del viento, la presión y la limpieza requeridas en la sala limpia, el método más comúnmente utilizado es enviar continuamente una cierta cantidad de aire tratado a la habitación para eliminar diversas interferencias de calor y humedad y contaminación por polvo en la sala limpia. . Para obtener el aire en un cierto estado en la sala limpia, se necesita un conjunto completo de equipos para procesar el aire, que se envía continuamente a la sala, y parte de él se descarga continuamente de la sala. Todo este conjunto de equipos constituye un sistema de aire acondicionado limpio.

El aire fresco exterior W se envía al techo después de la purificación, enfriamiento, deshumidificación y tratamiento de recalentamiento por la unidad de aire fresco. Para que el control de temperatura y humedad de la sala limpia sea más estable, el aire fresco tratado generalmente se ajusta al estado requerido N de la sala limpia, y el DDC (Direct Digital Control) realiza el control preciso del aire fresco purificado. . Dado que la unidad de aire fresco utiliza una sección de rociado y una sección de recalentamiento para rociar agua limpia, el punto L debe ser el punto de rocío de la máquina de aire fresco, que se encuentra verticalmente debajo del punto N. El aire de retorno en estado H tratado por la FFU instalada en el conducto de aire de retorno se mezcla con el aire fresco procesado por la unidad de aire fresco en el techo para formar un suministro de aire en estado O, y luego se filtra por elF FU a la sala limpia. El aire limpio enviado al interior se convierte en el estado interior N después de absorber el calor sensible, parte del cual es expulsado al exterior por el dispositivo de extracción del equipo de proceso, y la otra parte se reutiliza después del tratamiento con FFU.

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