(a) purificación del principio de división del sistema de aire acondicionado

1, la limpieza, la temperatura, la humedad y su precisión de la misma sala limpia o similar deben dividirse en un sistema de purificación de aire acondicionado. Limpieza fácil de controlar, temperatura y humedad. 2. la sala limpia cercana entre sí debe clasificarse como un sistema, que puede reducir la longitud de las tuberías del sistema y el cruce de las tuberías.

3. cuando las condiciones lo permitan, el sistema de aire acondicionado de purificación de flujo mixto puede estar compuesto por 4, 5 flujos unidireccionales y 6, 7 y 8 flujos no unidireccionales.

4, la sala limpia no debe combinarse con la sala de aire acondicionado general como sistema.

5, use la ley y el tiempo de uso no es lo mismo, ya que la sala limpia no es adecuada para un sistema de purificación de aire acondicionado.

6, la producción de polvo, el calor, las sustancias nocivas, la sala de ruido deben diseñarse como un sistema separado.

7. Las habitaciones que sean altamente tóxicas y que causen incendios y explosiones después de la mezcla no se combinarán en un sistema de purificación de aire acondicionado.

8, hay salas altamente tóxicas e inflamables y explosivas a, b debe ser un sistema separado y no debe devolver el sistema de aire acondicionado.

9, un sistema de purificación de aire acondicionado no es fácil de ser demasiado grande. en general, el volumen de suministro de aire de purificación no debe exceder los 100,000 m; de lo contrario, el equipo de tratamiento de aire es demasiado grande, ruidoso, el conducto de aire de retorno es grande, ocupa un gran espacio y área, y el uso no es flexible.

10, la división del sistema de aire acondicionado limpio también debe considerar el conducto de aire, el conducto de retorno, el conducto de escape y el diseño del agua, la electricidad, el gas y otras tuberías, en la medida de lo posible para hacer una gestión razonable, corta y fácil de usar, reducir la intersección y superposición, solapar.

11. El tratamiento de calor, humedad y purificación del aire fresco en el sistema de aire acondicionado puede ser centralizado o descentralizado.

El principio de dividir el sistema de aire de escape local del equipo de proceso.

1. el sistema de aire de escape parcial del equipo de proceso no debe ser demasiado grande, y los puntos de aire de escape de cada sistema de aire de escape no deben ser demasiado, de modo que la gestión y el ajuste del aire de escape sean convenientes y el efecto del aire de escape sea bueno .

2. un sistema de aire de escape no debe cruzar dos o más sistemas de aire acondicionado de purificación.

3. el aire de escape que produce sustancias altamente tóxicas, explosivas, de incendio, de condensación, cristalización y nocivas después de la mezcla no se combinará en un solo sistema de aire de escape.

4. el aire de escape de diferentes habitaciones y equipos no debe combinarse en un solo sistema de aire de escape.

5) Comparación y selección del tipo de suministro de aire del sistema de aire acondicionado de purificación de sala limpia

(a) suministro de aire de purificación y aire acondicionado tipo de suministro de aire combinado, generalmente también conocido como el tipo centralizado de suministro de aire. El esquema de unidades de aire acondicionado purificadoras (unidades de tratamiento de aire ahu) establecidas en la sala de aire acondicionado, la purificación de todo el suministro de aire acondicionado, la purificación del aire se realizó en la unidad de aire acondicionado purificadora y el procesamiento caliente y húmedo, y el gran conducto de suministro de aire suministrará todo el aire a la parte superior del condole de la sala limpia, el repass se encuentra en el techo de la sala limpia en el filtro hepa terminal o en filtros eficientes para limpiar la salida de suministro de aire interior filtrada, para darse cuenta de que el proceso de la sala limpia requiere temperatura, humedad, limpieza y la diferencia de presión del habitación, el aire de retorno en la sala limpia pasa a través de la entrada de aire de retorno y el conducto de aire de retorno, y luego se conecta a la unidad de aire acondicionado de purificación en la sala de aire acondicionado. Después de mezclar con el aire fresco, se repiten la purificación del aire y el tratamiento de calor y humedad. este esquema se puede dividir en un esquema completo de suministro de aire fresco (sistema de CC); un programa de retorno aéreo; el primero y el segundo esquemas de retorno aéreo y los esquemas mau plus ffu son cuatro tipos diferentes de suministro de aire. Este esquema de suministro de aire es el esquema de suministro de aire más utilizado para salas limpias, especialmente salas limpias de flujo no unidireccional. La división del sistema de este esquema de suministro de aire es clara, y el control y la regulación del volumen de aire, temperatura y humedad son únicos. sin embargo, cuando el nivel de limpieza es mayor y el volumen de suministro de aire es mayor, la sala de aire acondicionado ocupa un área grande, el volumen del suministro de aire y la tubería de aire de retorno ocupan un área y espacio grandes, el suministro de aire y la tubería de aire de retorno es durante mucho tiempo, la presión residual del ventilador de suministro de aire es alta, el ruido es grande y el suministro de aire consume una gran cantidad de electricidad. por lo tanto, este esquema de suministro de aire es más adecuado para el suministro de aire de la sala limpia de flujo no unidireccional de nivel inferior, y menos económico y razonable para el suministro de aire de la sala limpia de flujo unidireccional por encima del nivel 5.

1. esquema de suministro de aire de ahu con aire fresco (sistema de corriente continua)

El esquema completo de suministro de aire de purificación de aire fresco se utiliza en esquemas especiales de suministro de aire para salas limpias donde no se permite el retorno de aire. por ejemplo, la producción del proceso de sala limpia se clasifica como nivel de riesgo de incendio de clase a y clase b o el proceso produce sustancias altamente tóxicas y otras sustancias nocivas que no pueden devolver el aire en el sistema de suministro de aire limpio.

2. esquema de suministro de aire de retorno de aire primario ahu

El esquema de suministro de aire de retorno de aire primario generalmente se usa en la sala limpia con un alto valor calorífico o rendimiento de humedad, y el suministro de aire de calor o humedad residual interior es mayor, igual o cercano al suministro de aire de purificación en sala limpia de flujo unidireccional con bajo grado de limpieza.

3. esquema de suministro de aire de purificación de aire acondicionado con retorno de aire primario y secundario ahu

Para ahorrar energía, eliminar el calor del aire y el calor en el proceso de tratamiento de calor y humedad se compensan entre sí, en la sala limpia la capacidad de suministro de aire de purificación es mayor que la capacidad de suministro de aire del aire acondicionado para eliminar el calor y la humedad residuales, es mejor usar el primer y segundo programa de retorno de aire, el segundo diseño de punto de mezcla en el punto de suministro de aire del sistema, este lado es el programa de suministro de aire más económico y de mayor ahorro energético.

4. esquema de suministro de aire de mau + rau para aire acondicionado de purificación

Esta solución para la limpieza de múltiples salas limpias, temperatura, humedad, diferentes requisitos, el rendimiento del calor interior y el contenido de humedad también son similares, a fin de garantizar que cada uno de los requisitos de limpieza, temperatura, humedad y precisión de la sala limpia se configure Unidad de ciclo múltiple, la salida de aire circular de la unidad es para purificar la salida de aire y, dentro de la unidad, configurar el calor necesario, el equipo de procesamiento húmedo, que se utiliza para complementar la escasez de calor de la unidad de aire fresco, el proceso húmedo y garantizar la limpieza sección de ajuste de precisión de temperatura y humedad ambiente. Debido a que la unidad de circulación está ubicada en el techo de la sala limpia, la presión residual del suministro de aire de la unidad de circulación es relativamente pequeña, el volumen de la unidad y el ruido y la vibración de la unidad también son pequeños, y el conducto de aire de retorno es pequeño. relativamente corto. sin embargo, es necesario prestar atención a la descarga de condensado de la unidad de circulación. Las unidades de aire fresco en este esquema están ubicadas en la sala de aire acondicionado, y todo el aire fresco necesario para estas salas limpias es purificado por las unidades de aire fresco (mau) y el tratamiento centralizado de calor y humedad. luego se distribuye a cada unidad de ciclo y se mezcla con su aire de retorno. El volumen de aire fresco de la unidad de aire fresco no solo debe complementar el aire de escape de cada sala limpia sino también garantizar la presión positiva de cada sala limpia. el tratamiento de calor y humedad de la unidad de aire fresco debería ir al punto de rocío mecánico del aire en una habitación limpia. Si el punto de tratamiento de calor y humedad del aire fresco es inferior al punto de rocío mecánico de la sala limpia, el aire fresco no solo soportará la carga húmeda del aire fresco, sino que también eliminará la carga húmeda de la sala limpia. en este momento, el enfriador de superficie en la unidad de circulación puede ser un enfriador de superficie seca.

El esquema de purificar el suministro de aire y separar el suministro de aire del aire acondicionado generalmente se llama esquema de suministro de aire semi-centralizado o descentralizado. para ahorrar en gran medida el consumo de energía del tiempo de ejecución, eliminará el calor interior limpio y la salida de aire húmedo del aire acondicionado (generalmente es mucho menor que la sala limpia para purificar la salida de aire), por la unidad de aire de la sala del acondicionador de aire (mau) necesaria para purificación y procesamiento húmedo en caliente, y el total del 50 al 90% de la garantía de la pureza de la sala limpia para purificar la salida de aire de la sala limpia cerca de la unidad de circulación para purificar y agregar procesamiento caliente, húmedo o usar directamente el cabezal en las unidades de filtro de ventilador de techo) y bobina seca para resolver el nivel de limpieza de la sala limpia y la temperatura de ajuste fino. Este esquema de suministro de aire, que está separado del suministro de aire por aire acondicionado, no solo puede ahorrar energía para la operación, sino que también reduce en gran medida el área de la sala de aire acondicionado, ahorra el enorme suministro de aire y la tubería de retorno, y reduce la altura del espacio de limpieza habitación. dicho esquema de suministro de aire de purificación se puede dividir en: unidad de aire acondicionado (ahu) agregar esquema de unidad de filtro de ventilador (ffu), unidad de aire fresco (mau) agregar esquema de unidad de ciclo (rau) agregar (ffu); unidad de aire fresco (mau) + unidad de filtro de ventilador (ffu) + tubo frío seco

(dc) y otros tres esquemas de suministro de aire.

1) esquema de suministro de aire de las unidades de aire acondicionado ahu (mau) y unidades de filtro de ventilador (ffu) en este esquema, todas las cargas de calor y humedad del sistema de aire acondicionado (cargas de calor y humedad generadas en la sala limpia y cargas de calor y humedad del aire fresco ) están a cargo de las unidades de aire acondicionado ubicadas en la sala de aire acondicionado. en este momento, el suministro de aire de la unidad de aire acondicionado es el suministro de aire para eliminar el calor residual y la humedad del sistema (incluido todo el aire fresco y algo de aire de retorno, pero mucho menos que el suministro de aire de purificación para garantizar la limpieza del sala limpia), y debe ser capaz de garantizar la temperatura constante y la humedad relativa de la sala limpia. La limpieza de la sala limpia está garantizada por una unidad de filtro de ventilador (ffu) en el techo de la sala limpia que circula y filtra el suministro de aire purificado. Cabe señalar en este esquema que el calor generado durante la operación de ffu también debe ser soportado por la unidad de aire acondicionado. Este esquema es más adecuado para salas limpias de flujo mixto con flujo unidireccional vertical parcial en salas grandes de flujo no unidireccional.

2) unidad de aire fresco (mau) más (he) unidad de ciclo y unidad de filtro de ventilador (cabezal) para purificar el esquema de suministro de aire acondicionado de aire acondicionado, este esquema para más limpieza de la sala limpia, temperatura, humedad, diferentes requisitos, el rendimiento del calor interior y El contenido de humedad también es similar, para garantizar que cada uno de los requisitos de limpieza, temperatura, humedad y precisión de la sala limpia, para configurar la unidad de ciclo múltiple, la salida de aire circular de la unidad es para purificar la salida de aire, y dentro de la unidad, configure el calor necesario, el equipo de procesamiento húmedo, que se utiliza para complementar la escasez de calor de la unidad de aire fresco, el proceso húmedo y garantizar que la temperatura de la sala limpia y la humedad sean precisas en la sección de ajuste. Debido a que la unidad de circulación está ubicada en el techo de la sala limpia, la presión residual del suministro de aire de la unidad de circulación es relativamente pequeña, el volumen de la unidad y el ruido y la vibración de la unidad también son pequeños, y el conducto de aire de retorno es pequeño. relativamente corto. sin embargo, es necesario prestar atención a la descarga de condensado de la unidad de circulación. Las unidades de aire fresco en este esquema están ubicadas en la sala de aire acondicionado, y todo el aire fresco necesario para estas salas limpias es purificado por las unidades de aire fresco (mau) y el tratamiento centralizado de calor y humedad. luego se distribuye a cada unidad de ciclo y se mezcla con su aire de retorno. El volumen de aire fresco de la unidad de aire fresco no solo debe complementar el aire de escape de cada sala limpia sino también garantizar la presión positiva de cada sala limpia. el tratamiento de calor y humedad de la unidad de aire fresco debería ir al punto de rocío mecánico del aire en una habitación limpia. Si el punto de tratamiento de calor y humedad del aire fresco es inferior al punto de rocío mecánico de la sala limpia, el aire fresco no solo soportará la carga húmeda del aire fresco, sino que también eliminará la carga húmeda de la sala limpia. en este momento, el enfriador de superficie en la unidad de circulación puede ser un enfriador de superficie seca.

cuando más de uno en la sala limpia tiene un número de nivel 1, 10, 100 de alto nivel de purificación de la sala limpia vertical uniflow, con el fin de reducir la carga de la unidad de circulación (he) y enviar y devolver la sección del conducto de aire, la circulación la unidad solo resuelve la salida de aire del aire acondicionado de sala limpia uniflow, para garantizar la temperatura de la sala limpia, la humedad relativa y la presión positiva de la sala limpia, y en su mayor parte representa más del 90% de la entrega que se encuentra en el techo de la sala limpia en la cabeza para cargar, para garantizar el alto nivel de limpieza de la sala limpia. 3) la unidad de aire fresco (mau) más la unidad de filtro del ventilador (cabezal) y el tubo frío seco (cc) del plan de suministro de aire del aire acondicionado purificador es que el aire fresco será un equipo de aire fresco para limpiar la habitación caliente y húmeda que la línea y la humedad relativa por debajo del 95% intersección, la carga de humedad del aire fresco de la tripulación no solo se cargará, sino que también cargará la carga de humedad interior limpia, las unidades de aire fresco para garantizar la humedad relativa de la sala limpia. la carga de enfriamiento seco de la parte insuficiente del tratamiento térmico de la unidad de aire fresco se complementará con el enfriador de superficie seca ubicado en el techo de la sala limpia (o en el túnel). Debido a que el enfriador de la mesa seca se encuentra en el techo suspendido o en el túnel a través del cual pasa el aire circulante del ffu, el aire circulante lleva la carga de enfriamiento seco formada por el enfriamiento de la mesa seca al cuarto limpio. El aire fresco tratado por la unidad de aire fresco se envía a la caja de presión estática de suministro de aire en la sala limpia por medio de tuberías que se pueden mezclar de manera más uniforme con el aire circulante. Ffu está dispuesto en el techo de la sala limpia. el aire circulante mezclado con aire fresco es filtrado por ffu y enviado a la sala limpia después de ser filtrado por un filtro hepa para asegurar la limpieza de la sala limpia. Las especificaciones de ffu son principalmente de 1200 mm × 600 mm y 1200 mm × 1200 mm, cuya velocidad del viento en la sección debe ser ≥0.45m / s, la presión residual debe ser ≥120pa y el ruido debe ser ≤50db (a). El volumen de aire del ventilador de ffu debe ser ajustable, el filtro de alta eficiencia debe ser reemplazable. La bobina seca y fría generalmente se compone de dos filas. Para reducir el espacio entre las aletas de aluminio de la resistencia ≥3 mm, la pérdida de resistencia debe ser de 30 ~ 40pa. la velocidad del viento en la superficie del viento circulante a través de la bobina seca es & lt; 2m / s, y es mejor ser 1.5m / s. La temperatura del agua de entrada al agua fría del serpentín seco debe ser 2 ℃ más alta que la temperatura del punto de rocío de la sala limpia, generalmente conocida como agua enfriada mediana. aunque se denomina bobina seca, se puede generar condensado durante la operación inicial, por lo que la bobina seca también debe tener una bandeja de goteo de condensado y medidas de drenaje.

en este esquema, la humedad relativa de la sala limpia está garantizada por la unidad de aire fresco (mau), la temperatura de la sala limpia está garantizada por el serpentín frío y seco, y la limpieza de la sala limpia está garantizada por ffu. la cabeza de mau plus y el plan de suministro de aire acondicionado de purificación de CC, actualmente en nuestro país y en la industria de microelectrónica (ic) extranjera, industria optoelectrónica (tft - lcd, lcd, led, etc.), etc. en el área grande, alta El taller de limpieza de grado de limpieza está ampliamente disponible, tiene un ajuste conveniente, ahorro de energía significativamente, para adaptarse al proceso de actualización y ahorrar en gran medida el área de no producción y las ventajas del espacio de no producción. Además, con el desarrollo continuo y el progreso de la tecnología limpia y los equipos limpios, la eficiencia del ventilador ffu se mejora continuamente, el consumo de energía se reduce continuamente y el precio general se reduce continuamente. la inversión inicial es básicamente la misma que la de otros tipos de esquemas de suministro de aire, pero el costo operativo se ahorra enormemente.