La sala limpia se refiere a la eliminación de partículas, aire dañino, bacterias y otros contaminantes en el aire dentro de un espacio determinado, y al control de la temperatura interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad del aire y la distribución del aire, el ruido, la vibración, la iluminación y la electricidad estática dentro de un cierto rango de necesidades, y dada una sala especialmente diseñada. Es decir, sin importar cómo cambien las condiciones del aire externo, la sala puede mantener los requisitos originales establecidos de limpieza, temperatura, humedad y presión. La función principal de la sala limpia es controlar la limpieza, la temperatura y la humedad de la atmósfera con la que entran en contacto los productos (como chips de silicio, etc.), para que los productos puedan producirse y fabricarse en un buen espacio ambiental. Este espacio se llama sala limpia.
1. Indicadores de sala limpia
.
1） El suministro de aire en el
sala limpia
es suficiente para diluir o eliminar la contaminación interior.
2） El aire en la sala limpia fluye desde el área limpia al área con poca limpieza, el flujo de aire contaminado alcanza el mínimo y el aire fluye en la dirección correcta en la entrada y en el edificio interior.
3） El suministro de aire en la sala limpia no aumentará significativamente la contaminación interior.
4） El estado de movimiento del aire interior puede garantizar que no haya un área de reunión de alta concentración en la habitación secreta.
2. Prueba de sala limpia.
1. Volumen de aire de entrada y salida: Si se trata de una sala limpia con turbulencia, se debe medir el volumen de aire de entrada y salida. Si se trata de una sala limpia con flujo unidireccional, se debe medir la velocidad del viento.
2. Control del flujo de aire entre áreas: Para comprobar que la dirección del movimiento del flujo de aire entre las áreas es correcta, es decir, el flujo desde el área limpia al área con poca limpieza, es necesario verificar:
(1) La diferencia de presión en cada sección es correcta;
(2) La dirección del movimiento del aire en la puerta o en las aberturas de la pared, piso, etc. es correcta, es decir, fluye desde el área limpia hacia el área mal limpia.
3. Detección de fugas de filtros
:El filtro de alta eficiencia y su marco deben inspeccionarse para garantizar que los contaminantes suspendidos no pasen a través de:
(1) Filtro dañado;
(2) El espacio entre el filtro y su marco exterior;
(3) Otras partes del dispositivo de filtrado invaden la habitación.
4. Detección de fugas de aislamiento
:Esta prueba sirve para demostrar que los contaminantes suspendidos no penetran en los materiales de construcción hasta la sala limpia.
5. Control del flujo de aire interior
El tipo de prueba de control del flujo de aire depende del patrón de flujo de la sala limpia: flujo turbulento o unidireccional. Si el flujo de aire en la sala limpia es turbulento, se debe verificar que no haya áreas con flujo de aire insuficiente. Si se trata de una sala limpia con flujo unidireccional, se debe verificar que la velocidad y la dirección del viento en toda la sala cumplan con los requisitos de diseño.
6. Concentración de partículas suspendidas y concentración microbiana:
Si las pruebas anteriores cumplen con los requisitos, finalmente se mide la concentración de partículas y la concentración microbiana (cuando sea necesario) para verificar que cumplen con los requisitos técnicos.
condiciones de la sala limpia
diseño.
7. Otras pruebas
:Además de las pruebas de control de la contaminación mencionadas anteriormente, en ocasiones se deben realizar una o más de las siguientes pruebas:
Temperatura, humedad relativa, capacidad de calefacción y refrigeración interior, valor de ruido, intensidad de luz, valor de vibración.
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