(a) Principio de división de la purificación del sistema de aire acondicionado

1, la limpieza, la temperatura, la humedad y su precisión de la misma o similar sala limpia deben dividirse en un sistema de aire acondicionado de purificación. Fácil control de limpieza, temperatura y humedad. 2. Las salas limpias cercanas entre sí deben clasificarse como un sistema, lo que puede reducir la longitud de las tuberías del sistema y el cruce de tuberías.

3. Cuando las condiciones lo permitan, el sistema de aire acondicionado de purificación de flujo mixto puede estar compuesto por 4, 5 flujos unidireccionales y 6, 7 y 8 flujos no unidireccionales.

4. La sala limpia no debe combinarse con la sala de aire acondicionado general como un sistema.

5. El uso de la ley y el tiempo de uso no son los mismos, ya que la sala limpia no es adecuada para un sistema de aire acondicionado de purificación.

6. La producción de polvo, calor, sustancias nocivas y ruido en la sala deben diseñarse como un sistema separado.

7. Las habitaciones que sean altamente tóxicas y que provoquen incendios y explosiones después de mezclarse, no se deberán combinar en un solo sistema de aire acondicionado de purificación.

8. Hay salas a, b altamente tóxicas, inflamables y explosivas que deben tener un sistema separado y no deben devolver el aire del sistema de CC.

9. Un sistema de aire acondicionado purificador no es fácil de ser demasiado grande. En general, el volumen de suministro de aire de purificación no debe superar los 100.000 m; de lo contrario, el equipo de tratamiento de aire es demasiado grande, ruidoso, el conducto de aire de retorno es grande, ocupa un gran espacio y área y el uso no es flexible.

10. La división del sistema de aire acondicionado limpio también debe considerar el diseño de los conductos de aire, los conductos de retorno, los conductos de escape y las tuberías de agua, electricidad, gas y otras, para hacer una gestión razonable, corta y fácil de usar en la medida de lo posible, reducir la intersección y la superposición.

11. El tratamiento de calor, humedad y purificación del aire fresco en el sistema de aire acondicionado puede ser centralizado o descentralizado.

El principio de división del sistema de aire de escape local del equipo de proceso.

1. El sistema de aire de escape parcial del equipo de proceso no debe ser demasiado grande, y los puntos de aire de escape de cada sistema de aire de escape no deben ser demasiados, de modo que la gestión y el ajuste del aire de escape sean convenientes y el efecto del aire de escape sea bueno.

2. Un sistema de aire de escape no debe cruzar dos o más sistemas de aire acondicionado de purificación.

3. El aire de escape que, después de mezclarse, produce sustancias altamente tóxicas, explosivas, inflamables, condensadas, cristalizantes y nocivas, no se debe combinar en un solo sistema de aire de escape.

4. El aire de escape de diferentes habitaciones y equipos no debe combinarse en un solo sistema de aire de escape.

5. Comparación y selección del tipo de suministro de aire del sistema de aire acondicionado de purificación de salas limpias

(a) Suministro de aire de purificación y aire acondicionado de tipo combinado, normalmente también conocido como tipo centralizado de suministro de aire. El esquema de las unidades de purificación de aire acondicionado (unidades de manejo de aire AHU) se establece en la sala de aire acondicionado, la purificación de todo el aire de suministro de aire acondicionado se llevó a cabo en la unidad de purificación de aire acondicionado y el procesamiento húmedo y caliente, y el conducto de suministro de aire grande suministrará todo el aire a la parte superior del condole de la sala limpia, el repass se encuentra en el techo de sala limpia En el terminal, el filtro HEPA o los filtros eficientes para limpiar la salida de suministro de aire interior se filtran, para lograr la temperatura, la humedad, la limpieza y la diferencia de presión requeridas en el proceso de sala limpia. El aire de retorno en la sala limpia pasa por la entrada y el conducto de retorno, y luego se conecta a la unidad de purificación de aire acondicionado en la sala de aire acondicionado. Tras mezclarse con el aire fresco, se repite la purificación del aire y el tratamiento térmico y de humedad. Este esquema se puede dividir en esquema de suministro de aire fresco completo (sistema de CC); Un programa de retorno de aire; Los esquemas de retorno de aire primero y segundo y los esquemas MAU más FFU son cuatro tipos diferentes de suministro de aire. Este esquema de suministro de aire es el más utilizado para salas limpias, especialmente para salas limpias con flujo no unidireccional. La división del sistema de este esquema de suministro de aire es clara y el control y regulación del volumen de aire, la temperatura y la humedad son únicos. Sin embargo, cuando el nivel de limpieza es mayor y el volumen de suministro de aire es mayor, la sala de aire acondicionado ocupa un área grande, el volumen de la tubería de suministro de aire y retorno ocupa un área y espacio grandes, la tubería de suministro de aire y retorno es larga, la presión residual del ventilador de suministro de aire es alta, el ruido es grande y el suministro de aire consume una gran cantidad de electricidad. Por lo tanto, este esquema de suministro de aire es más adecuado para el suministro de aire de la sala limpia de flujo no unidireccional de nivel inferior, y menos económico y razonable para el suministro de aire de la sala limpia de flujo unidireccional por encima del nivel 5.

1. Esquema de suministro de aire de la UTA con aire fresco (sistema de CC)

El sistema completo de suministro de aire de purificación de aire fresco se utiliza en sistemas especiales de suministro de aire para salas limpias donde no se permite el retorno de aire. Por ejemplo, la producción de un proceso de sala limpia está clasificada como de nivel de riesgo de incendio clase A y clase B, o el proceso produce sustancias altamente tóxicas y otras sustancias nocivas que no pueden regresar al sistema de suministro de aire limpio.

2. Esquema de suministro de aire del retorno de aire primario de la UTA

El esquema de suministro de aire de retorno de aire primario se utiliza generalmente en salas limpias con gran valor calorífico o rendimiento de humedad, y el suministro de aire de calor residual o humedad interior es mayor, igual o cercano al suministro de aire de purificación en la sala limpia de flujo no unidireccional con bajo grado de limpieza.

3. Esquema de suministro de aire de aire acondicionado purificador con retorno de aire primario y secundario de la UTA.

Para ahorrar energía, eliminar el calor del aire y el calor en el proceso de tratamiento de calor y humedad se compensan entre sí, en la capacidad de suministro de aire de purificación de la sala limpia es mayor que la capacidad de suministro de aire del aire acondicionado para eliminar el calor residual y la humedad, es mejor utilizar el primer y segundo programa de retorno de aire, el segundo diseño de punto de mezcla en el punto de suministro de aire del sistema, este lado es el que más ahorra energía, el programa de suministro de aire más económico.

4. Esquema de suministro de aire de MAU+RAU para aire acondicionado purificador

Esta solución para múltiples limpiezas de salas limpias, temperatura, humedad, diferentes requisitos, el rendimiento del calor interior y el contenido de humedad también son similares, para garantizar que cada uno de los requisitos de limpieza, temperatura, humedad y precisión de la sala limpia, para configurar la unidad de ciclo múltiple, la salida de aire circular de la unidad es para purificar la salida de aire y, dentro de la unidad, configurar el calor necesario, el equipo de procesamiento húmedo, que se utiliza para complementar la escasez de calor de la unidad de aire fresco, el proceso húmedo y garantizar que la sección de ajuste fino de precisión de temperatura y humedad de la sala limpia. Debido a que la unidad de circulación está ubicada en el techo de la sala limpia, la presión residual del suministro de aire de la unidad de circulación es relativamente pequeña, el volumen de la unidad y el ruido y la vibración de la unidad también son pequeños, y el conducto de aire de retorno es relativamente corto. Sin embargo, es necesario prestar atención a la descarga de condensado de la unidad de circulación. Las unidades de aire fresco de este esquema están ubicadas en la sala de aire acondicionado, y todo el aire fresco necesario para estas salas limpias es purificado por las unidades de aire fresco (MAU) y el tratamiento centralizado de calor y humedad. Luego se distribuye a cada unidad de ciclo y se mezcla con el aire de retorno. El volumen de aire fresco de la unidad de aire fresco no solo debe complementar el aire de escape de cada sala limpia, sino que también debe garantizar la presión positiva de cada sala limpia. Es recomendable que el tratamiento térmico y de humedad de la unidad de aire fresco alcance el punto de rocío mecánico del aire en una sala limpia. Si el punto de tratamiento térmico y de humedad del aire fresco es inferior al punto de rocío mecánico de la sala limpia, el aire fresco no solo absorberá la carga húmeda propia, sino que también la eliminará de la sala limpia. En este caso, el enfriador de superficie de la unidad de circulación puede ser un enfriador de superficie seco.

El esquema de purificación del suministro de aire y separación del suministro de aire del aire acondicionado generalmente se denomina esquema de suministro de aire semicentralizado o descentralizado. Para ahorrar en gran medida el consumo de energía del tiempo de funcionamiento, eliminará el calor restante limpio en el interior y la salida de aire acondicionado húmedo (por lo general es mucho menor que la sala limpia para purificar la salida de aire), por la unidad de aire de la sala de aire acondicionado (MAU) necesaria para purificar y procesamiento húmedo caliente, y el total de 50 a 90% de la garantía de la pureza de la sala limpia para purificar la salida de aire por la sala limpia cerca de la unidad de circulación para purificar y agregar procesamiento húmedo caliente, o use directamente la cabeza en las unidades de filtro del ventilador de techo) y la bobina seca para resolver el nivel de limpieza de la sala limpia y la temperatura del ajuste fino. Este esquema de suministro de aire, que está separado del suministro de aire por aire acondicionado, no solo puede ahorrar energía para la operación, sino que también reduce en gran medida el área de la sala de aire acondicionado, ahorra la enorme tubería de suministro y retorno de aire y reduce la altura del espacio de la sala limpia. Este esquema de suministro de aire de purificación se puede dividir en: esquema de unidad de filtro de ventilador adicional (FFU) de unidad de aire acondicionado (AHU), esquema de unidad de ciclo adicional (RAU) de unidad de aire fresco (MAU) esquema de unidad de filtro de ventilador adicional (FFU); Unidad de aire fresco (MAU) + unidad de filtro de ventilador (FFU) + tubo de frío seco

(DC) y otros tres esquemas de suministro de aire.

1. Esquema de suministro de aire de las unidades de aire acondicionado AHU (MAU) y unidades de filtro de ventilador (FFU) en este esquema, todas las cargas de calor y humedad del sistema de aire acondicionado (cargas de calor y humedad generadas en la sala limpia y cargas de calor y humedad del aire fresco) son soportadas por las unidades de aire acondicionado ubicadas en la sala de aire acondicionado. En este momento, el suministro de aire de la unidad de aire acondicionado es el suministro de aire para eliminar el calor residual y la humedad del sistema (incluido todo el aire fresco y algo de aire de retorno, pero mucho menos que el suministro de aire de purificación para garantizar la limpieza de la sala limpia), y debe poder garantizar la temperatura constante y la humedad relativa de la sala limpia. La limpieza de la sala blanca está garantizada por una unidad de filtrado de ventilador (FFU) en el techo de la sala blanca, que hace circular y filtra el suministro de aire purificado. Es importante tener en cuenta en este esquema que el calor generado durante el funcionamiento de la FFU también debe ser absorbido por la unidad de aire acondicionado. Este esquema es más adecuado para salas limpias de flujo mixto con flujo unidireccional vertical parcial en salas limpias grandes de flujo no unidireccional.

2. Unidad de aire fresco (MAU) más (he) unidad de ciclo y unidad de filtro de ventilador (cabeza) para purificar el esquema de suministro de aire acondicionado, este esquema para múltiples limpiezas de salas limpias, temperatura, humedad, diferentes requisitos, el rendimiento de calor interior y el contenido de humedad también son similares, para garantizar que cada uno de los requisitos de limpieza, temperatura, humedad y precisión de la sala limpia, para configurar una unidad de ciclo múltiple, la salida de aire circular de la unidad es purificar la salida de aire y, dentro de la unidad, configurar el calor necesario, el equipo de procesamiento húmedo, que se utiliza para complementar la escasez de calor de la unidad de aire fresco, el proceso húmedo y garantizar que la sección de ajuste fino de temperatura y humedad de la sala limpia sea precisa. Debido a que la unidad de circulación está ubicada en el techo de la sala limpia, la presión residual del suministro de aire de la unidad de circulación es relativamente pequeña, el volumen de la unidad y el ruido y la vibración de la unidad también son pequeños, y el conducto de aire de retorno es relativamente corto. Sin embargo, es necesario prestar atención a la descarga de condensado de la unidad de circulación. Las unidades de aire fresco de este esquema están ubicadas en la sala de aire acondicionado, y todo el aire fresco necesario para estas salas limpias es purificado por las unidades de aire fresco (MAU) y el tratamiento centralizado de calor y humedad. Luego se distribuye a cada unidad de ciclo y se mezcla con el aire de retorno. El volumen de aire fresco de la unidad de aire fresco no solo debe complementar el aire de escape de cada sala limpia, sino que también debe garantizar la presión positiva de cada sala limpia. Es recomendable que el tratamiento térmico y de humedad de la unidad de aire fresco alcance el punto de rocío mecánico del aire en una sala limpia. Si el punto de tratamiento térmico y de humedad del aire fresco es inferior al punto de rocío mecánico de la sala limpia, el aire fresco no solo absorberá la carga húmeda propia, sino que también la eliminará de la sala limpia. En este caso, el enfriador de superficie de la unidad de circulación puede ser un enfriador de superficie seco.

Cuando más de uno en la sala limpia tiene un número de nivel 1, 10, 100 de alto nivel de purificación de sala limpia uniflow vertical, con el fin de reducir la carga de la unidad de circulación (he) y para enviar y devolver la sección del conducto de aire, la unidad de circulación solo resuelve la salida de aire de acondicionamiento de aire de sala limpia uniflow, para garantizar la temperatura de la sala limpia, la humedad relativa y la presión positiva de la sala limpia, y en su mayor parte representa más del 90% de la entrega se encuentra en el techo de sala limpia paneles sobre la cabeza para cargar, para garantizar el alto nivel de limpieza de la sala limpia. 3. La unidad de aire fresco (MAU) más la unidad de filtro de ventilador (cabeza) y el tubo de frío seco (DC) del plan de suministro de aire acondicionado purificador es que el aire fresco será la tripulación de aire fresco para limpiar la sala caliente y húmeda que la línea y la humedad relativa por debajo del 95% de la intersección de la línea, la carga de humedad del aire fresco de la tripulación no solo será ella misma, sino que también cargará la carga de humedad interior limpia, las unidades de aire fresco para garantizar que la humedad relativa de la sala limpia sea necesaria. La carga de enfriamiento seco de la parte insuficiente del tratamiento térmico de la unidad de aire fresco se complementará con el enfriador de superficie seca ubicado en el techo de la sala limpia (o en el túnel). Dado que el enfriador de mesa seca se ubica en el techo suspendido o en el túnel por donde pasa el aire circulante de la FFU, la carga de enfriamiento seco formada por el enfriamiento de la mesa seca se lleva a la sala limpia mediante el aire circulante. El aire fresco tratado por la unidad de aire fresco se envía a la caja de presión estática de suministro de aire en la sala limpia por medio de tuberías que se pueden mezclar de manera más uniforme con el aire circulante de FFU. El filtro de aire acondicionado (FFU) está ubicado en el techo de la sala limpia. El aire circulante, mezclado con aire fresco, se filtra mediante el FFU y se envía a la sala limpia tras ser filtrado por un filtro HEPA para garantizar su limpieza. Las especificaciones de FFU son principalmente 1200 mm × 600 mm y 1200 mm × 1200 mm, cuya velocidad del viento en la sección debe ser ≥0,45 m/s, la presión residual debe ser ≥120 Pa y el ruido debe ser ≤50 dB (A). El volumen de aire del ventilador FFU debe ser ajustable y el filtro de alta eficiencia debe ser reemplazable. El serpentín de frío seco generalmente consta de dos filas. Para reducir la separación entre las aletas de aluminio de la resistencia ≥3 mm, la pérdida de resistencia debe ser de 30 a 40 Pa. La velocidad del viento superficial que circula a través del serpentín seco es < 2 m/s, siendo preferible 1,5 m/s. La temperatura del agua de entrada al agua fría del serpentín seco debe ser 2 ℃ más alta que la temperatura del punto de rocío de la sala limpia, generalmente denominada agua medianamente fría. Aunque se denomina serpentín seco, durante el funcionamiento inicial se puede generar condensado, por lo que el serpentín seco también debe tener una bandeja de goteo de condensado y medidas de drenaje.

En este esquema, la humedad relativa de la sala limpia está garantizada por la unidad de aire fresco (MAU), la temperatura de la sala limpia está garantizada por la bobina de frío seco y la limpieza de la sala limpia está garantizada por FFU. El cabezal MAU plus y el plan de suministro de aire acondicionado de CC para la purificación, en la actualidad, en nuestra industria nacional e internacional de microelectrónica (IC), industria optoelectrónica (TFT - LCD, LCD, LED, etc.) y así sucesivamente en el área grande, el taller limpio de alto grado de limpieza se vuelve ampliamente disponible, tiene un ajuste conveniente, ahorra energía significativamente, se adapta al proceso de actualización y ahorra en gran medida el área de no producción y las ventajas del espacio de no producción. Además, gracias al continuo desarrollo y progreso de tecnologías y equipos limpios, la eficiencia de los ventiladores FFU mejora continuamente, el consumo de energía se reduce continuamente y el precio general también. La inversión inicial es básicamente la misma que la de otros sistemas de suministro de aire, pero se reduce considerablemente el costo operativo.