La limpieza de una sala limpia a menudo se ve afectada por el flujo de aire. en otras palabras, el movimiento y la difusión del polvo producido por las personas, los compartimentos de las máquinas y las estructuras de los edificios están dominados por el flujo de aire.
La sala limpia utiliza HEPA y ULPA para filtrar el aire, y su tasa de recolección de polvo es de hasta 99,97 ~ 99,99995%, por lo que se puede decir que el aire filtrado por este filtro es muy limpio. Sin embargo, además de las personas, existen fuentes de polvo en el cuarto limpio , tales como máquinas. una vez que el polvo generado se esparce, el espacio limpio no puede ser mantenido. Por lo tanto, se debe utilizar el flujo de aire para descargar rápidamente el polvo generado al exterior.
control de velocidad del viento
El flujo de aire en la sala limpia es un factor importante que afecta el rendimiento de la sala limpia. Generalmente, la velocidad del flujo de aire de la sala limpia se selecciona entre 0,25 ~ 0,5 m / s. Este La velocidad del flujo de aire pertenece al área de la brisa, que es susceptible a la interferencia de personas, máquinas, etc. y tiende a ser caótica. , Aunque el aumento de la velocidad del viento puede suprimir la influencia de esta perturbación y mantener la limpieza, el aumento de la velocidad del viento afectará el aumento de los costos operativos. Por lo tanto, debería poder suministrar a la velocidad del viento más apropiada cuando se cumple el nivel de limpieza requerido. lograr un suministro de velocidad del viento adecuado para lograr resultados económicos.
por otro lado, para lograr un efecto estable de limpieza de la sala limpia, el mantenimiento de un flujo de aire uniforme también es un factor importante. Si flujo de aire uniforme no puede mantenerse, significa que la velocidad del viento es diferente. especialmente en la pared, el flujo de aire generará un vórtice a lo largo de la pared. lograr una alta limpieza es realmente muy difícil.
Para mantener un flujo de aire uniforme en la dirección del flujo laminar vertical, debe ser:
(A) no debe haber diferencia en la velocidad del viento en la superficie del viento;
(B) allí debería no habrá diferencia en la velocidad del viento en la superficie de succión de la placa de aire de retorno del suelo. Si la velocidad es demasiado baja o demasiado alta (0,2 m / s, 0,7 m / s), habrá corrientes parásitas a una velocidad de 0,5 m / s, el flujo de aire es más uniforme. Generalmente, la velocidad del viento de una sala limpia es 0,25 ~ 0,5 m. / s entre.
factores de influencia
Hay muchos factores de flujo de aire que afectan la sala limpia, como equipos de proceso, personal, materiales de montaje de sala limpia, aparatos de iluminación, etc. al mismo tiempo, el punto de desviación del flujo de aire sobre el equipo de producción debería también ser considerado.
Generalmente, el punto de desviación del flujo de aire en la superficie de la mesa de operaciones o equipo de producción debería estar ubicado a la distancia entre el espacio de la sala limpia y el pared de división del sitio limpio 2 / 3, de modo que el flujo de aire pueda fluir desde del interior del área de proceso al área de trabajo cuando el operador está trabajando. Se quita el polvo; si el punto de desvío se coloca delante del área de proceso, se convertirá en un desvío de flujo de aire inadecuado. en este momento, la mayor parte del flujo de aire fluirá hacia el área de proceso y el polvo causado por el operador La operación se llevará a la parte posterior del equipo. como resultado, Taiwán se contaminará y la tasa de rendimiento disminuirá inevitablemente.
obstáculos tales como mesas de trabajo en la sala limpia tendrán corrientes de Foucault en los cruces y la limpieza cerca de ellos será relativamente pobre. taladrar orificios de retorno de aire en la mesa de trabajo minimizará las corrientes de Foucault; montaje Ya sea la selección de materiales es adecuada y la disposición del equipo es perfecta también son factores importantes para si el flujo de aire se convierte en un fenómeno de vórtice.
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